抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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蒸着時に誘電体膜および金属膜に現われる応力を,コーティングの進行にあわせて薄いシリカのストリップの曲げを観測して調べた。被検ストリップが蒸着チェンバのなかに配置したレーザー干渉計の一つの鏡となるように被検ストリップを配置して,実験した。応力の光学的表面の形状に及ぼす影響,多層膜の安全性などを調べた;図21表2参8