抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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精密座標測定機において,その構成要素の幾何学的誤差を解析し,精度におよぼす影響をしることは重要である。球座標で測定するR-θ機械.円筒座標で測定する2つの独立したすべり台をもつY-Z機械および直交座標で測定する3つの複合すべり台をもつもの(C。rdax)につき誤差解析を行なった;写図9