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J-GLOBAL ID：201602020010701684   整理番号：72A0027202

真空蒸着多層の強度と部分構造について

про субструктуру та мiцнiсть багатошровн х вакуумннх конденсатiв.

著者 (3件)： ПАЛАТНИК Л С ,  IЛЬIНСЬКИЙ О I ,  БIЛЕТЧЕНКО Н М
資料名： Ukr Fiz Zh  (Ukrainskij Fizicheskij Zhurnal)
巻： 16  号： 12  ページ： 2075-2077  発行年： 1971年 
JST資料番号： R0202A  ISSN： 0503-1265  CODEN： UFZHA   資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 旧ソビエト連邦 (SUN)  言語： ロシア語 (RU)

抄録/ポイント： 二つの相異なる成分が薄層をなして集積した,真空蒸着多層合金(MLA)の部分構造を調べた。MLAにおけるモザイククラスターの寸法を薄膜構成成分の厚さから決定した。部分構造をMLAの構造特性の研究から説明した;写図2表2参6

シソーラス用語： 合金 ,  蒸着膜 ,  薄膜

タイトルに関連する用語 (3件)： 真空蒸着 ,  多層 ,  部分構造