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J-GLOBAL ID:201602020035349497   整理番号:70A0065730

ステップ&レピートを行なう極微小位置決めテーブル

Step and repeat micropositioning table.
著者 (1件):
資料名:
巻: 12  号: 11  ページ: 1958-1959  発行年: 1970年 
JST資料番号: E0292B  ISSN: 0018-8689  CODEN: IBMTA   資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
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テーブルと周囲のわくの問はX,Y方向には可動でZ方向には動かないばねで支持されている。ステッピングモータがX,Yにそれぞれついていて,ねじを回転させるとナットが左右に動き,一端をナットで支持されているコイルばねを経て力がテーブルにかかり,微小量の移動が行なわれる;写図2
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