抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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テーブルと周囲のわくの問はX,Y方向には可動でZ方向には動かないばねで支持されている。ステッピングモータがX,Yにそれぞれついていて,ねじを回転させるとナットが左右に動き,一端をナットで支持されているコイルばねを経て力がテーブルにかかり,微小量の移動が行なわれる;写図2