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J-GLOBAL ID：201602020158838158 整理番号：58A0053033
シリコン中の拡散層の表面濃度の決定
Evaluation of the Surface Concentration of Diffused Layers in Silicon.
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資料名：
Bell Syst Tech J (Bell System Technical Journal)
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巻：
37
号：
3
ページ：
699-710
発行年：
1958年
JST資料番号：
B0062A
ISSN：
0005-8580
資料種別：
逐次刊行物 (A)
発行国：
アメリカ合衆国 (USA)
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Sheet resis-tivity of the layer, junktion depth, impurity dis-tribution across the layer, back ground resistivity,the majority carrier mobilityから表面濃度を算定する方法について
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