抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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半導体シリコンの主力商品であるウェーハについて品質保証の立場から,現在の品質保証ロット・サイズをチェックし,全品種について一様な品質保証ロットの編成でよいか,ロット良否の判別力の問題,客先の取扱いに便利なサイズか,などを検討し,改善すべき点を検出した。代表的品種を対象に主要な特性(電気特性,単結晶特性,加工特性,寸法特性)別に,品質保証精度,検査スピード,検査経費などを解析した。その手順を述べ,p管理図.パレード図,ビストグラム,L-S管理図を示す。終りに,目的・問題点・対策・効果・評価を一覧表にまとめた;写図7表9