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J-GLOBAL ID:201602020197737920   整理番号:71A0349457

品質保証ロット・サイズの適正化

著者 (1件):
資料名:
巻: 22  号:ページ: 787-795  発行年: 1971年 
JST資料番号: G0354A  ISSN: 0018-1951  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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半導体シリコンの主力商品であるウェーハについて品質保証の立場から,現在の品質保証ロット・サイズをチェックし,全品種について一様な品質保証ロットの編成でよいか,ロット良否の判別力の問題,客先の取扱いに便利なサイズか,などを検討し,改善すべき点を検出した。代表的品種を対象に主要な特性(電気特性,単結晶特性,加工特性,寸法特性)別に,品質保証精度,検査スピード,検査経費などを解析した。その手順を述べ,p管理図.パレード図,ビストグラム,L-S管理図を示す。終りに,目的・問題点・対策・効果・評価を一覧表にまとめた;写図7表9
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