抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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陶磁器,ガラス,薄膜シリコンなど,もろい物質の切断にレーザーを活用すると直線だけでなく,曲線部の切断も可能である。レーザー条件は,CO
2-N
2-He分子レーザー,54Wが適しており,レーザーは焦点距離2inのレンズを用いると,0。008-0.025inの極小点へもエネルギーを集中させることができる。直線方向の切断速度は0.027inのアルミナで120in/minも可能である;写図9表1参6