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J-GLOBAL ID：201602020245322907   整理番号：71A0205389

ニオブの酸化の研究

Contribution a 1’etude de l’oxydation du niobium.

著者 (5件)： MOLLIMARD D ,  BARDOLLE J ,  SIMON D ,  PERRIN C ,  DALIBARD G
資料名： Rev Phys Appl  (Revue de Physique Appliquee)
巻： 5  号： 2  ページ： 599-608  発行年： 1970年 
JST資料番号： B0655A  ISSN： 0035-1687  CODEN： RPHAA   資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： フランス (FRA)  言語： フランス語 (FR)

抄録/ポイント： 10torrの酸化圧,350°Cにおけるニオブ酸化膜形成動力学と成長の異方性を調べた。反応速度順は(100),(211),(111)であった。低圧力(10^-4~10^-5torr)高温(550°C~950°C)では,二つの酸素吸着機構が存在する。その他,酸化物核生成およびかなり厚い膜の生成条件について述べた;写図14表1参9

シソーラス用語： ニオブ ,  吸着 ,  酸化膜

タイトルに関連する用語 (3件)： ニオブ ,  酸化 ,  研究