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J-GLOBAL ID：201602020531311904   整理番号：71A0042798

アルゴン-酸素混合気中での金とタンタルのスパッタ収率

Sputtering yields of gold and tantalum in argon-oxygen mixtures.

著者 (2件)： HARVEY J ,  CORKHILL J
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 6  号： 4  ページ： 277-287  発行年： 1970年 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 酸素分圧O.-3×10’4Torr(4×10’ZN/mZ)の領域でアルゴンー酸素中での金とタンタルのスパッタ収率を調べた。金のスパッタ収率は酸素分圧には実質的に無関係でありタンタルでの酸素圧が増加すると6・・8分の1に減少することがわかつた;写図6参12

シソーラス用語： スパッタ ,  タンタル ,  金

タイトルに関連する用語 (7件)： アルゴン ,  酸素 ,  混合気 ,  金 ,  タンタル ,  スパッタ ,  収率