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J-GLOBAL ID：201602020570710697   整理番号：72A0028096

電子ビーム法によってつくられた酸化アルミニウム薄膜

Пхеикл окиси алюминия полученные алектроыно-пучевчн способом.

著者 (3件)： ОСИПОВ К А ,  ВОРОВИЧ Т Л ,  ОРЛОВ И И
資料名： Izv Akad Nauk SSSR Neorg  (Izvestiya Akademii Nauk SSSR. Neorganicheskie Materialy)
巻： 7  号： 11  ページ： 1970-1974  発行年： 1971年 
JST資料番号： R0254A  CODEN： IVNMA   資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 旧ソビエト連邦 (SUN)  言語： ロシア語 (RU)

抄録/ポイント： 電子ビーム法により,高品質酸化アルミニウム薄膜の製造が保証さ渦。酸化アルミニウム薄膜の蒸着過程における真空室への酸素と燃の導入により,電気物理学的特性が影響される;写図2表2参19

シソーラス用語： アルミナ ,  電子ビーム ,  薄膜

タイトルに関連する用語 (3件)： 電子ビーム ,  酸化アルミニウム ,  薄膜