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J-GLOBAL ID:201602020585655307   整理番号:64A0170471

ピエゾ抵抗を利用した圧力トランスデューサ

Piezoresistive pressure transducers.
著者 (1件):
資料名:
巻:号:ページ: 76-81  発行年: 1964年 
JST資料番号: Z0000A  資料種別: 不明
記事区分: 解説  発行国: その他 (ZZZ) 
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機械的エネルギーを電気エネルギーに変換する圧力トランスデs-サのうちピエソ抵抗効果を利用したものの動作原理と物理的特性および使用方法を解説し.またいろいろな目的に合せて作られた実際のトランスデューサの例を示した。多くの物質がピエソ抵抗効果をもつが,特に半導体に.おいてその効果が著るしく,SiやGeがよく使われる.ただし機械的なひずみに対する抵抗値の変化の割合を表わすゲージ・係数が大きい長所と,温度によりこの係数が変動する欠点がある.この欠点はゲージをホイートストンブリッジ’に組み,温度補償用抵抗を電源に.直列にそう人することにより除かれる;写4,図9
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