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J-GLOBAL ID：201602020971944496   整理番号：71A0092252

光重顕微鏡のゲージの精度および安定度

Точность и стабильность датчиков фотоэлектрических микроскопов.

著者 (6件)： ВЕДЕНОВ В М ,  ДЖОХАЛЗЕ Ш Р ,  КОРНДОРФ С Ф ,  КУПЕРШМИДТ З Н ,  ПЕРОВА Н И ,  ФИЛЮШОВ Д И
資料名： Stanki Instrum  (Stanki i Instrument)
号： 4  ページ： 14-16  発行年： 1971年 
JST資料番号： R0098A  ISSN： 0038-9811  CODEN： STINA   資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 旧ソビエト連邦 (SUN)  言語： ロシア語 (RU)

抄録/ポイント： 光電顕微鏡は細線尺度の制御および精密工作機における座標の読みを行なう際に広く用いられている。本文ではモススタンキンで開発されたРП-5型リレー・ゲージ,振動衝撃ゲージ,МЗКРС型ゲージの細線へのガイディングの精度および走査軸の安定度の研究がИКВП-4型垂直干渉計を基準として開発された装置をつかって行なわれた;写図7表1参6

シソーラス用語： 顕微鏡 ,  光電的測定 ,  工作機械
準シソーラス用語： 測定装置

タイトルに関連する用語 (3件)： 顕微鏡 ,  ゲージ ,  安定度