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J-GLOBAL ID:201602021145742387   整理番号:71A0245415

LSI入門 II

著者 (1件):
資料名:
巻: 16  号:ページ: 5-9  発行年: 1971年 
JST資料番号: G0086A  ISSN: 0583-0419  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 文献レビュー  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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LSIを設計し.測定するときのいろいうな問題を述べる。CADを使う理由は.人間では作図を間違う可能性が大きくなるのと,時間がかかりすぎるからである。ふつうLSIの原図面は500~1000倍の大きさに作り,これを精密なカメラで縮尺して密着焼付用のネガマズクを作る。CADを使用すると短時間でできる。なお,LSIの製造に関する歩どまりと集積度,MOSを使ったLSIおよび技術について解説;写図8
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