抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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LSIを設計し.測定するときのいろいうな問題を述べる。CADを使う理由は.人間では作図を間違う可能性が大きくなるのと,時間がかかりすぎるからである。ふつうLSIの原図面は500~1000倍の大きさに作り,これを精密なカメラで縮尺して密着焼付用のネガマズクを作る。CADを使用すると短時間でできる。なお,LSIの製造に関する歩どまりと集積度,MOSを使ったLSIおよび技術について解説;写図8