抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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電子光学的結像系の最適な焦点合わせを自動的に行なう若干の方法がある。テスト用物体,例えばけい光板上のエッジ像を二次元的な写真法で記録する前にそのフーリェ変換を利用した記録の可能性が公表されている。像縫造をその空間周波数に変換しすべての空間周波数にわたって積分すると,構造積分は最適の焦点の場合に最大になる。この過程を計算機制御し,電子顕微鏡の焦点合わせを行なう装置の慨観を述べる;写図2参5