抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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MOSFETが複雑になってくるに従って,その試験をいかに効率よく行なうかが重要な問題である。ここでは出荷検査および入荷検査に用いられるgo/no-go方法による試験方法のプログラムおよび手順についてのべた;写図4