抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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アルミニウムバリヤー層のリサージュ図より,電圧の低い場合,電解初期は容量型のだ円図形を示すが,徐々にプラスマイナス両電流が流れ安定する.プラス電流に比べマイナス電流が多くなり,整流作用が認められる.また電圧が高いと安定化時間は短い.このリサージュ図はすべて非対称図形である.この図形を人為的に作り出すため,抵抗,容量,シリコン整流素子,ゼナーダイオードを用いて等価回路を組みシンクロスコープ上に再現し,そのときのインピーダンスを調ベバリヤー層の構造を推定.バリヤー層にはプラスマイナス両電流を通す部分,プラス電流を通す部分,マイナス電流を通す部分,のあることを推定:参4