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J-GLOBAL ID：201602021415857920 整理番号：65A0168202
レーザとマイクロエレクトロニクス
Lasers and microelectronics.
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著者 (1件)：
NICHOLS K G
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資料名：
Br Commun Electron (British Communications and Electronics)
Br Commun Electron について
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巻：
12
号：
6
ページ：
368-369
発行年：
1965年
JST資料番号：
B0089A
CODEN：
BCELA
資料種別：
逐次刊行物 (A)
記事区分：
文献レビュー
発行国：
イギリス (GBR)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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レーザ応用の可能性について,マイクロエレクトロニクス回路製造の工具に関して検討した。特に真空中における点蒸着,薄膜工作について,現在得られているレーザの特性,出力,指向性,パルス繰り返し時間などを展望し,利用できる能力の上限を明らかにし,現在実用されている現況と,将来の見通し,条件などについて述べる;図8参3
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