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J-GLOBAL ID:201602201425874627   整理番号:16A0256923

高いガスバリアフィルム用の液体有機シラン前駆体TG-4Eの開発

Development of a liquid organosilane precursor, TG-4E, for high gas barrier film
著者 (2件):
資料名:
巻: 59  ページ: 63-65  発行年: 2015年12月31日 
JST資料番号: F0529A  ISSN: 1346-3039  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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高いガスバリアフィルム用の開発プラズマ化学蒸着(PECVD)で高ガスバリアフィルムを蒸着するための新しい液体有機シラン前駆体(TG-4E)を開発した。TG-4Eを用いて,バードコート付きポリエチレンナフタレートフィルム上にPECVDで800nm厚のガスバリア層を蒸着した。TG-4Eは多層蒸着にも用いた。薄膜特性を評価した。単一ガスバリア層蒸着で,無色透明で柔軟なフィルムを得る事ができた。三層コートフィルムでは,40°C90%RH条件で4.1×10-5g/m2/日のWVTRを達成した。
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