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J-GLOBAL ID:201602202423139462   整理番号:15A1297371

修飾ケイ素ナノワイヤのH_2感知特性【Powered by NICT】

H_2 sensing properties of modified silicon nanowires
著者 (5件):
資料名:
巻: 25  号:ページ: 101-110  発行年: 2015年 
JST資料番号: W0407A  ISSN: 1002-0071  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 中国 (CHN)  言語: 英語 (EN)
抄録/ポイント:
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貴金属で修飾したシリコンナノワイヤを,本研究における有効H_2ガスセンサを作製するために使用できることが分かった。シリコンナノワイヤ(SiNW)の調製と表面改質を化学法により行った。シリコンナノワイヤ非改質および白金, パラジウム, 銀と金のナノ粒子で改良した合金の形態を走査電子顕微鏡(SEM)を用いて調べた。シリコンナノワイヤ層の化学組成を,二次イオン質量分光法(SIMS)とエネルギー分散型X線分析(EDX)によって研究した。metal/SiNWs/p Si型/Alの構造を作製した。電気特性(I-V)を種々の濃度で一次真空とH_2で実施した。SiNWを修飾するために用いた金属型はI-V特性に強く影響することが分かった。H_2ガスに対するこれらの構造の応答は金属型の関数として調べた。最後に,センサの感知特性と性能を調べた。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【Powered by NICT】
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, 【Automatic Indexing@JST】
分類 (9件):
分類
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光化学反応,ラジカル反応  ,  その他の熱的変量の計測法・機器  ,  炭鉱,石炭資源  ,  固体デバイス材料  ,  作物育種一般  ,  無機化合物の化学分析  ,  無機化合物のルミネセンス  ,  遺伝子の構造と化学  ,  計算機シミュレーション 
タイトルに関連する用語 (3件):
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