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J-GLOBAL ID：201602204750467581   整理番号：16A0005359

GZO/Pt/GZO多層透明電極の作製とタッチセンサデバイスへのその応用

Preparation of GZO/Pt/GZO Multi-Layered Transparent Electrodes and Their Application to Touch Sensor Devices

著者 (4件)： JEONG Moon-Ki (Korea Polytechnic Univ., Gyeonggi-Do, KOR) ,  KIM Hyun-Seok (Korea Polytechnic Univ., Gyeonggi-Do, KOR) ,  LEE Seong Eui (Korea Polytechnic Univ., Gyeonggi-Do, KOR) ,  LEE Hee Chul (Korea Polytechnic Univ., Gyeonggi-Do, KOR)
資料名： Journal of Nanoscience and Nanotechnology  (Journal of Nanoscience and Nanotechnology)
巻： 15  号： 10  ページ： 7436-7443  発行年： 2015年10月 
JST資料番号： W1351A  ISSN： 1533-4880  CODEN： JNNOAR  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 光学的性質と電気特性において制御可能な優れた透明電導性酸化物(TCO)膜を実現するために3つの課題に取り組んだ。最初に,Gaドープ酸化亜鉛(GZO)膜の間にPt挿入層を導入し,特性測定によりその層の厚さを最適化した。第二に,GZO膜およびZGO/Pt/GZO(GPG)構造の光学的電気的性質に対するポストアニーリング効果を調べた。ポストアニーリングは真空,N₂,Arのような還元雰囲気中で行った。最後に,フォトニックデバイス応用の可能性を調べるために,GPG構造を用いたダイヤモンド型タッチセンサデバイスを作製して評価した。

シソーラス用語： *透明電極 ,  ガリウム化合物 ,  酸化亜鉛 ,  *センサ ,  焼なまし ,  白金 ,  透過率 ,  化合物半導体 ,  ドーピング
準シソーラス用語： *ガリウムドープ酸化亜鉛 ,  *タッチセンサ ,  ポストアニーリング ,  光透過率 ,  透明電導性酸化物 ,  GZO【酸化物】

分類 (1件)： 固体デバイス材料  (NC03020K)

タイトルに関連する用語 (6件)： GZO ,  Pt ,  多層 ,  透明電極 ,  作製 ,  応用