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J-GLOBAL ID：201602205170996818   整理番号：16A0286706

高精度セラミックス部品の形状測定に関する研究

著者 (7件)： 目黒孝幸 (東北大) ,  松浦大貴 (東北大) ,  清水裕樹 (東北大) ,  伊東聡 (東北大) ,  GAO Wei (東北大) ,  足立茂 (日本ファインセラミックス) ,  大宮恭平 (日本ファインセラミックス)
資料名： 日本機械学会東北支部総会・講演会講演論文集  (日本機械学会東北支部・精密工学会東北支部総会・講演会講演論文集)
巻： 48th  ページ： 184-185  発行年： 2013年03月15日 
JST資料番号： L0012A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 半導体製造装置,光学機器等の分野で用いられている高精度セラミックス部品の形状を,加工機上で測定するシステムを開発する。要求精度実現のため,加工機に長ストローク変位センサを取り付けて形状測定を行うシステムを設計した。変位センサには切削油などの影響を受けずに信頼性の高い測定ができる接触式のものを採用した。今報では,センサの測定力による試料面の損傷について調べたうえで,実際に構築した加工機上測定システムの性能評価について報告する。(著者抄録)

シソーラス用語： セラミック ,  形状測定 ,  *計測システム ,  *工作機械 ,  損傷 ,  共焦点レーザ顕微鏡 ,  角度測定 ,  真直度 ,  評価試験 ,  工作物
準シソーラス用語： *機上測定システム ,  高精度 ,  *接触センサ ,  半導体製造装置 ,  変位センサ

分類 (2件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

タイトルに関連する用語 (3件)： セラミックス ,  形状測定 ,  研究