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J-GLOBAL ID：201602205574530588   整理番号：16A0279083

磁場支援型プラズマエッチング装置によるフッ素樹脂微細加工技術の開発

著者 (2件)： 鍋澤浩文 (富山県工技セ) ,  人母岳 (立山マシン)
資料名： 富山県工業技術センター研究報告  (Report of the Toyama Industrial Technology Center)
号： 29  ページ： 115  発行年： 2015年07月31日 
JST資料番号： X0426B  ISSN： 0914-2207  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (7件)： 磁場 ,  支援 ,  プラズマ ,  エッチング装置 ,  フッ素樹脂 ,  微細加工技術 ,  開発