文献

J-GLOBAL ID：201602205920053368   整理番号：16A0006920

フリーソフトを使ってみたこと~低ノイズ・ぶれなし高分解能像,EPMAによる薄膜試料の膜厚測定・定量分析~

著者 (1件)： 鹿住健司 (京大)
資料名： 機器・分析技術研究会大会報告集  (機器・分析技術研究会報告集)
巻： 2015  ページ： 47-48  発行年： 2015年09月10日 
JST資料番号： F1088A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *電子プローブX線分析 ,  *ソフトウェア ,  薄膜 ,  *厚み測定 ,  膜厚 ,  定量分析 ,  高分解能 ,  画像処理
準シソーラス用語： *フリーソフト ,  *膜厚測定

分類 (3件)： その他の物理分析  (CC03014E) ,  計算機ソフトウエア一般  (JD01010K) ,  薄膜一般  (BK14010X)

タイトルに関連する用語 (8件)： ソフト ,  低ノイズ ,  高分解能 ,  EPMA ,  薄膜 ,  試料 ,  膜厚測定 ,  定量分析