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J-GLOBAL ID：201602206370291679   整理番号：16A0078676

単結晶けい素太陽電池とXPS特性化に及ぼす二重層SiN_x膜の影響【Powered by NICT】

Effect of Double-Layer SiN_x Film on Mono-Crystalline Silicon Solar Cells and XPS Characterization

著者 (2件)： Ma Xinjian (Information Technol. Dep.,Lhasa Normal Coll., Tibet, Lhasa) ,  Lin Tao (Coll. of Automation and Information Engineering, Xi’an Univ. of Technol., Shaanxi, Xi’an)
資料名： Jiguang Yu Dianzixue Jinzhan  (Jiguang Yu Dianzixue Jinzhan)
巻： 52  号： 6  ページ： 061608-01-061608-06  発行年： 2015年 
JST資料番号： C2698A  ISSN： 1006-4125  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 単層および二重層SiN_x膜,N/Si比と原子%Si,N,C,0の化学結合をX線光電子分光法(XPS)により解析した。単結晶シリコン太陽電池の電気的特性に,プラズマ増強化学蒸着(PECVD)により堆積した単層と二重層SiN_x膜の影響を検証した。XPS,反射率と少数キャリア寿命の解析は,H原子とSiN_xの膜はNH_3とSiH_4による単結晶表面に生成されることを示した。二重層SiN_xの外膜のN/Si比が,単一層SiN_xのそれより僅かに高く,これは反射防止に良好な効果を果たす。内部膜は,単層膜のために豊富なSiよりも良好なパシビション効果を有していた。電気特性試験は,単層SiN_x太陽電池と比較して,二重層SiN_x薄膜太陽電池の開路電圧,短絡電流および光電変換効率は,それぞれ2mV47mAと0.17%の改善を示した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 短絡電流 ,  少数キャリア ,  単一層 ,  *太陽電池 ,  プラズマCVD ,  *キャラクタリゼーション ,  X線光電子分光法 ,  *単結晶 ,  反射率 ,  *ケイ素
準シソーラス用語： 光電変換効率 ,  開回路電圧 ,  薄膜太陽電池 ,  結晶シリコン太陽電池 ,  *二重層 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 半導体薄膜  (BK14040E) ,  太陽電池  (NC03084O)

タイトルに関連する用語 (5件)： 結晶けい素 ,  太陽電池 ,  XPS ,  特性化 ,  二重層