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J-GLOBAL ID：201602206578185474   整理番号：16A0349317

高精度干渉計での球面評価の高度化に向けた誤差の把握

著者 (3件)： 細谷肇 (群馬県産技セ) ,  小谷雄二 (群馬県産技セ) ,  横山靖 (群馬県産技セ)
資料名： 群馬県立産業技術センター研究報告  (Reports of Gunma Industrial Technology Center)
巻： 2014  ページ： 51-54  発行年： 2015年09月 
JST資料番号： L2242A  ISSN： 1349-4465  CODEN： GKSGA8  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： レンズの反射波面精度を把握するための代表的な測定器に干渉計がある。この干渉計は,非常に高精度な反射波面測定が可能である。しかし,その測定は原器との比較測定であるため,原器の真球度の影響を受ける。この,原器の真球度誤差分の影響を低減する手法の一つに,球面形状の治具の表面の測定を繰り返しその平均値を測定結果に対して補正する方法がある。今回,方法による原器の誤差推定値の誤差について検証した。(著者抄録)

シソーラス用語： *レンズ ,  *球面 ,  *測定精度 ,  波面 ,  標準器 ,  推定 ,  形態 ,  *干渉計 ,  *誤差
準シソーラス用語： 誤差推定 ,  表面形状 ,  Fizeau干渉計

分類 (2件)： 光学器械要素とその材料  (QF05020K) ,  干渉測定と干渉計  (BD07070G)

タイトルに関連する用語 (6件)： 干渉計 ,  球面 ,  評価 ,  高度化 ,  誤差 ,  把握