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J-GLOBAL ID：201602206703301295   整理番号：16A0281247

溶液法による4H-SiCバルク結晶成長と結晶品質評価

著者 (15件)： 楠一彦 (新日鐵住金 先端研) ,  関和明 (新日鐵住金 先端研) ,  岸田豊 (新日鐵住金 先端研) ,  海藤宏志 (新日鐵住金 先端研) ,  森口晃治 (新日鐵住金 先端研) ,  岡田信宏 (新日鐵住金 先端研) ,  大黒寛典 (トヨタ自動車 東富士研) ,  加渡幹尚 (トヨタ自動車 東富士研) ,  土井雅喜 (トヨタ自動車 東富士研) ,  旦野克典 (トヨタ自動車 東富士研) ,  関章憲 (トヨタ自動車 東富士研) ,  佐藤和明 (トヨタ自動車 東富士研) ,  別所毅 (トヨタ自動車 東富士研) ,  原田俊太 (名大 院) ,  宇治原徹 (名大 院)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 63rd  ページ： ROMBUNNO.20A-H101-6  発行年： 2016年03月03日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2436-7613  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *溶液成長 ,  *炭化ケイ素 ,  *結晶成長 ,  *品質 ,  X線トポグラフィー ,  格子欠陥 ,  結晶品質
準シソーラス用語： 化学溶液法 ,  *4H-SiC

分類 (1件)： 半導体の結晶成長  (BK13040X)

タイトルに関連する用語 (6件)： 溶液 ,  4H-SiC ,  バルク ,  結晶成長 ,  結晶品質 ,  評価