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J-GLOBAL ID:201602206988756126   整理番号:16A0041572

非球面干渉測定には多くの方法がある

Numerous ways exist to interferometrically measure aspheres
著者 (1件):
資料名:
巻: 51  号: 11  ページ: 41-44  発行年: 2015年11月 
JST資料番号: B0681B  ISSN: 1043-8092  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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非球面光学素子は高精度専用品から民生用に大量生産される小形素子にいたるまで用途が拡大し,その検査の問題がさかんに研究されて成果をあげている。非球面の光学試験法は干渉法と非接触プロファイラの二つに大別される。昔から研究室で使用されてきた典型的なレーザ干渉計は波長633nmのレーザ光を用いるフィゾー干渉計である。今日の干渉計ではUVからLWIRまでの波長で動作するレーザ光源が得られる。光プロファイラではレーザ光スポットがレンズ表面をスキャンして3D形状を定める。半球のように急な表面でも処理できる。
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分類 (1件):
分類
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光学的測定とその装置一般 
タイトルに関連する用語 (2件):
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