高出力インパルスマグネトロンスパッタリングにより堆積した炭窒化ホウ素(BCN)コーティングの摩耗特性に対する組成の影響

HIRTE T.; FEUERFEIL R.; PEREZ-SOLORZANO V.; WAGNER T.A.; SCHERGE M.

文献

J-GLOBAL ID：201602207784646573 整理番号：16A0016781

高出力インパルスマグネトロンスパッタリングにより堆積した炭窒化ホウ素(BCN)コーティングの摩耗特性に対する組成の影響

Influence of composition on the wear properties of boron carbonitride (BCN) coatings deposited by high power impulse magnetron sputtering

出版者サイト複写サービスで全文入手 {{ this.onShowCLink("http://jdream3.com/copy/?sid=JGLOBAL&noSystem=1&documentNoArray=16A0016781&COPY=1") }}
高度な検索・分析はJDreamⅢで {{ this.onShowJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=16A0016781&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=D0205C") }}

著者 (5件)： , , , ,
資料名：
巻： 284 ページ： 94-100 発行年： 2015年12月25日
JST資料番号： D0205C ISSN： 0257-8972 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

耐摩耗コーティングとしての応用を目的として,高出力インパルスマグネトロンスパッタリング(HiPIMS)法と通常のパルスDCスパッタリングにより堆積したホウ素-炭素-窒化物(BCN)コーティングについて研究した。極めて高い出力密度を持つ短いパルスは,結果としてプラズマ種の高いイオン化度をもたらし膜構造と特性の操作を可能にするために,特にBCNコーティングに対してHiPIMSが有望な堆積法として適している。炭素および窒化ホウ素の両者は,sp²あるいはsp³配置あるいはそれらの混合に混成することが可能であるため,硬度および摩擦係数といったコーティングの特長を特別な応用の要求に合うように調整可能である。ここでは,異なる炭素原料と堆積モードが,マイクロ硬度,摩擦係数および熱安定性を含むBCN膜の摩擦学的特性と組成に与える影響を調べた。さらに,X線光電子スペクトル(XPS)を解釈することによって熱劣化機構を研究した。著者らは,パルスDCあるいはHiPIMSパルスモードのどちらかの適用がコーティングのマイクロ硬度および熱安定性に大きい影響を有し,その内HiPIMSモードが,一般的により高い硬度とより良い熱安定性を与えた。さらに,B₄Cおよびグラファイトターゲットを共スパッタした試料は,アセチレンと反応性スパッタさせたものと比較して優れた硬度と熱安定性を示すことを明らかにした。Copyright 2016 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

, , , , , , , , , , , , , , , , , , , ,
, , , , , ,

金属材料へのセラミック被覆 , 機械的性質

, , , , , , ,

前のページに戻る