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J-GLOBAL ID：201602209955896037   整理番号：15A1300373

種々の基板温度での塩化亜鉛前駆体溶液からのZnO薄膜のスプレー熱分解堆積【Powered by NICT】

Spray Pyrolysis Deposition of ZnO Thin Films from Zinc Chloride Precursor Solution at Different Substrate Temperatures

著者 (3件)： Zahedi Fahimeh (Dep. of Physics, Alzahra Univ., Iran, Tehran) ,  Dariani Reza Sabet (Dep. of Physics, Alzahra Univ., Iran, Tehran) ,  Rozati Seyed Mohammad (Dep. of Physics, Univ. of Guilan, Iran, Rasht)
資料名： Acta Metallurgica Sinica  (Acta Metallurgica Sinica)
巻： 28  号： 1  ページ： 110-114  発行年： 2015年 
JST資料番号： C5023A  ISSN： 1006-7191  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ZnO膜をガラス基板上に塩化亜鉛前駆体のスプレー熱分解堆積による種々の基板温度で調製した。基板温度が膜の表面形態と,それらの光学的および電気的性質に影響を及ぼす。全ての膜はウルツ鉱型結晶構造の多結晶で,c軸方向に優先的に成長した。ZnOロッドの形成は約500°Cで始まる500°Cで堆積したロッドの直径と長さは350-500と550-700nmであった。基板温度を増加させると,膜はより多くの被覆率となり,ロッドの直径は250-300nmに減少したがそれらの長さは1,000-1 1200nmに増加した。可視領域における光透過率は基板温度の増加とともに減少した。室温での光ルミネセンススペクトルで観測された紫外発光と2.82と2.37eVの二つの可視発光。ZnO膜の抵抗率は表面形態のために基板温度の上昇と共に増加した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *基板温度 ,  電気抵抗率 ,  *堆積 ,  電気的性質 ,  *塩化亜鉛 ,  発光 ,  ウルツ鉱型結晶 ,  *前駆体
準シソーラス用語： 光ルミネセンススペクトル ,  光透過率 ,  可視領域 ,  表面形態 ,  ガラス基板 ,  *スプレー熱分解 ,  *ZnOフィルム , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 変態組織,加工組織  (WB01030N)

タイトルに関連する用語 (7件)： 基板温度 ,  塩化亜鉛 ,  前駆体 ,  溶液 ,  ZnO薄膜 ,  スプレー熱分解 ,  堆積