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J-GLOBAL ID：201602210078113059   整理番号：15A1301407

単一周波数補償したLangmuir探針によるヘリコンプラズマの診断【Powered by NICT】

Diagnosis of Helicon Plasma by Single Frequency-Compensated Langmuir Probe

著者 (5件)： Ma Chao (Lab. of Plasma Physics & Materials, Beijing Inst. of Graphic Communication, Beijing) ,  Zhao Gao (Lab. of Plasma Physics & Materials, Beijing Inst. of Graphic Communication, Beijing) ,  Liu Zhongwei (Lab. of Plasma Physics & Materials, Beijing Inst. of Graphic Communication, Beijing) ,  Sang Lijun (Lab. of Plasma Physics & Materials, Beijing Inst. of Graphic Communication, Beijing) ,  Chen Qiang (Lab. of Plasma Physics & Materials, Beijing Inst. of Graphic Communication, Beijing)
資料名： Zhenkong Kexue yu Jishu Xuebao  (Zhenkong Kexue yu Jishu Xuebao)
巻： 35  号： 8  ページ： 989-993  発行年： 2015年 
JST資料番号： C2159A  ISSN： 1672-7126  CODEN： CKKSDV  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： ,放電電力,圧力と磁場に限定されるだけでなく,放電条件にヘリコンプラズマにおけるthedischargeの依存性は単一発振周波数を補償したLangmuirプローブを用いて実験的に評価した。結果は,放電電力が増加すると,電子密度は増加し,放電出力300と900Wで急激に上昇することを示した。電子密度の”ジャンプ”は容量結合放電モードからのホイッスル波放電モードへの遷移を示唆した。圧力と磁場の両方の増加は,放電モードの遷移に対する放電電力のしきい値を減少させることを見出した。添加では,アンテナの上流における低磁場での高電子密度ピークが観察され,おそらくヘリコン波の放電モードのためであった。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： アンテナ ,  電子密度 ,  磁場 ,  *Langmuir探針 ,  弱磁場 ,  放電
準シソーラス用語： 放電電力 ,  *ヘリコンプラズマ ,  単一周波数 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 薄膜成長技術・装置  (BK14020I) ,  表示機器  (NC06030Q)

タイトルに関連する用語 (5件)： 単一周波数 ,  補償 ,  Langmuir探針 ,  ヘリコンプラズマ ,  診断