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J-GLOBAL ID：201602211826111028   整理番号：16A0033378

誘導結合アルゴンプラズマ反応器での流れ場の3次元数値シミュレーション【Powered by NICT】

THREE-DIMENSION NUMERICAL SIMULATION OF THE FLOW FIELD IN THE INDUCTIVELY COUPLED ARGON PLASMA REACTOR

著者 (3件)： Shi Yanghe (East China Jiao Tong Univ., Mechanical and Electrical Engineering Inst., Nanchang) ,  Zheng Hua (East China Jiao Tong Univ., Mechanical and Electrical Engineering Inst., Nanchang) ,  Shao Zongheng (East China Jiao Tong Univ., Mechanical and Electrical Engineering Inst., Nanchang)
資料名： Diwen Wuli Xuebao  (Diwen Wuli Xuebao)
巻： 37  号： 5  ページ： 396-404  発行年： 2015年 
JST資料番号： C2352A  ISSN： 1000-3258  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 誘導結合プラズマ反応器内の流れ場の3次元数値シミュレーションは,反応器の複雑性を明らかにするために行った。反応器の3Dモデルを構築するためにソフトウェアPROEを用いた。プラズマ流は良好な伝導体である,Maxwell方程式を比較した電磁場と流体力学の方程式を用いたと仮定して,電磁流体力学(MHD)の運動量,エネルギーと連続方程式を推定した。マルチフィジックス場の結合計算を解くためにFLUENTソフトウェアの二次開発を用いた。磁場のベクトル方程式を複素ベクトル技術とUserDefinedスカラー(UDS)を用いて解いた。可変物理的パラメータを定義し,ソースタームを追加するUDSを利用して。C言語を用いてユーザ定義関数(UDF)を収集することである。モデルをメッシュと輸入FLUENTに,UDFと同じであった。FLUENTで提供され解決方式として圧力補正アルゴリズムを用いた圧力ベース解法を適用することにより計算を行った。シミュレーションパス,誘導結合プラズマ反応器内の流れ場に関する磁気ベクトルポテンシャル,温度場と速度場の分布を得ることができた。最後に,三次元と二次元モデルのシミュレーション結果の比較は,数値シミュレーションの実現可能性を検証した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *流れ場 ,  ベクトル ,  *電磁結合 ,  *三次元 ,  電磁流体力学 ,  *アルゴン ,  Maxwell方程式 ,  温度場 ,  運動量 ,  *反応器 ,  三次元モデル
準シソーラス用語： 速度場 ,  FLUENT ,  *数値シミュレーション ,  *プラズマリアクタ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 計算機シミュレーション  (JE11000H) ,  酸化物系超伝導体の物性  (BM04023I)

タイトルに関連する用語 (6件)： 誘導結合 ,  アルゴン ,  プラズマ反応器 ,  流れ場 ,  3次元 ,  数値シミュレーション