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J-GLOBAL ID：201602212575214910   整理番号：16A0018518

マイクロパターニング技術と配線開口部修復デバイスを開発する

Developing a Micro-patterning Technology and Line Opening Repair Device

資料名： Convertech & e-Print  (Convertech & e-Print)
巻： 5  号： 6  ページ： 57-59  発行年： 2015年11月 
JST資料番号： L8287A  ISSN： 2185-6931  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 今日,電子デバイスの製造に印刷処理を適用する試みが世界中で行われている。日本企業により蓄積された高度な印刷関連技術を考えると,日本はこの分野の世界的リーダーであることを自負している。しかし,自社の印刷技術を研究・試験段階からデバイス生産段階に持ち込むには,低コスト化(特にランニングコスト)と高精度への主要ユーザからの強い要求を受けている。一方,本分野での主要な印刷技術であるグラビアオフセット印刷は商業化に向けての途中で偶然に行き当たった。本技術に対する幾つかの理由は,不十分な膜厚の均一性とパターン設計への制限事項であった。左様な状況で,これ等の課題を克服するであろう,新たな印刷プロセスと装置を開発するのに着手した。1)はじめに,2)均一膜厚を実現するために接触インキング方法を使用したマイクロフレキソ印刷機,3)微細な計量滴を塗工用の自動化ニードルディスペンサ(欠陥検査を自動化し欠陥位置データを取得する,フィードバックパターン検査結果を修理装置へ,修復装置ニードルのZ軸高さを調整する),3.1)FNP特性(塗工位置のX,Y座標を自動検出する,塗工面積または欠陥位置のZ座標(高さ)を自動検出する),3.2)FNP仕様。

シソーラス用語： *製造 ,  *技術 ,  原価低減 ,  操業費 ,  精密加工 ,  *フレキソ印刷 ,  均一性 ,  膜厚 ,  自動化 ,  供給装置 ,  欠陥検査 ,  位置 ,  データ収集 ,  フィードバック ,  *パターン形成 ,  *配線 ,  開口部 ,  *修理系
準シソーラス用語： ディスペンサ ,  データ取得 ,  *マイクロパターニング ,  *印刷技術 ,  低コスト化 ,  *電子デバイス製造

分類 (4件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  印刷  (ZA05040A) ,  生産形態  (KB03020E) ,  ゴム・プラスチック材料試験  (HB03000F)

タイトルに関連する用語 (3件)： マイクロパターニング ,  修復 ,  開発