文献

J-GLOBAL ID：201602212767247880   整理番号：16A0176616

(K,Na)NbO₃薄膜の音響特性の評価

Evaluation of Acoustic Properties of (K,Na)NbO₃ Film

著者 (6件)： KANEKO Ryosuke (Tohoku Univ., Miyagi, JPN) ,  KADOTA Micho (Tohoku Univ., Miyagi, JPN) ,  OHASHI Yuji (Tohoku Univ., Miyagi, JPN) ,  KUSHIBIKI Jun-ichi (Tohoku Univ., Miyagi, JPN) ,  IKEUCHI Shinsuke (Murata Manufacturing Co., Ltd., Kyoto, JPN) ,  TANAKA Shuji (Tohoku Univ., Miyagi, JPN)
資料名： IEEE International Ultrasonics Symposium  (IEEE International Ultrasonics Symposium)
巻： 2015 Vol.2  ページ： 1080-1083  発行年： 2015年 
JST資料番号： A0437C  ISSN： 1948-5719  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： (K,Na)NbO₃(KNN)等のPZT代替鉛なし圧電薄膜材料が求められている。今回,RFマグネトロンスパッタリングを用いてケイ素ウエハ上にKNN薄膜を作製し,自己組織化XeF₂エッチングとMEMS技術を用いて複数のKNN圧電共振子を作製し,材料特性を測定した。Al被覆KNNダイヤフラム中のリーキーLamb波(LLW)の速度を測定した。LLW非対称及び対象モードの位相速度は5370~5180m/sであり,速度値の再現性は高かった。

シソーラス用語： スパッタ蒸着 ,  マグネトロンスパッタリング ,  カリウム化合物 ,  ナトリウム化合物 ,  ニオブ酸塩 ,  *音響共振器 ,  特性 ,  薄膜 ,  薄膜成長 ,  ケイ素 ,  MEMS ,  エッチング ,  ダイヤフラム ,  *Lamb波 ,  漏れ波 ,  *位相速度 ,  音響特性 ,  固有モード
準シソーラス用語： RFマグネトロンスパッタリング ,  ニオブ酸カリウムナトリウム ,  圧電薄膜 ,  *圧電薄膜共振子 ,  厚みモード ,  材料特性

分類 (1件)： 共振器  (NC04050Y)

タイトルに関連する用語 (4件)： Na ,  薄膜 ,  音響特性 ,  評価