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J-GLOBAL ID:201602212951382983   整理番号:16A1042544

ゾル-ゲル過程による(1-x)BaZr0.2Ti0.8O3-xBa0.7Ca0.3TiO3薄膜の増強された強誘電的及び圧電的性質

Enhanced ferroelectric and piezoelectric properties of (1-x)BaZr0.2Ti0.8O3-xBa0.7Ca0.3TiO3 thin films by sol-gel process
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資料名:
巻: 388  号: PA  ページ: 35-39  発行年: 2016年12月01日 
JST資料番号: B0707B  ISSN: 0169-4332  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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ゾルゲル過程を介して,無鉛(1-x)BaZr0.2Ti0.8O3-xBa0.7Ca0.3TiO3(BZT-xBCT)薄膜をPt/Ti/SiO2/(100)Si基板に堆積するのに成功した。この薄膜の構造的及び電気的性質は共に強い組成依存性を示した。x=0.3のBZT-xBCT薄膜は,280pm/Vの大きい圧電係数d33及び12μC/cm2の高い残留分極Prを持つ優れた電気的性質を示した。BZT-xBCT薄膜の増強された強誘電的及び圧電的性質は,一次的に多形相境界(MPB)システムの三重点に近い組成に帰せられる。そこでは菱面体晶相と正方晶相の共存が起こる。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.
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酸化物薄膜  ,  強誘電体,反強誘電体,強弾性  ,  圧電気,焦電気,エレクトレット 

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