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J-GLOBAL ID：201602212977247172   整理番号：16A0456976

オンチップ量子光学回路の実現に向けた導波路結合型SSPDの作製

Fabrication of waveguide-coupled SSPD toward on-chip quantum waveguide circuit

著者 (10件)： 和木健太朗 (大阪大 大学院基礎工学研究科) ,  和木健太朗 (情報通信研究機構 未来ICT研) ,  山下太郎 (情報通信研究機構 未来ICT研) ,  井上振一郎 (情報通信研究機構 未来ICT研) ,  井上振一郎 (科学技術振興機構) ,  三木茂人 (情報通信研究機構 未来ICT研) ,  寺井弘高 (情報通信研究機構 未来ICT研) ,  生田力三 (大阪大 大学院基礎工学研究科) ,  山本俊 (大阪大 大学院基礎工学研究科) ,  井元信之 (大阪大 大学院基礎工学研究科)
資料名： 電子情報通信学会技術研究報告  (IEICE Technical Report (Institute of Electronics, Information and Communication Engineers))
巻： 116  号： 6(SCE2016 1-10)  ページ： 49-54  発行年： 2016年04月13日 
JST資料番号： S0532B  ISSN： 0913-5685  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 近年,量子光学回路をワンチップに集約するモノリシック集積回路が注目されており,そのキーデバイスとして,導波路結合型超伝導ナノワイヤ単一光子検出器(Superconducting nanowire single-photon detector;SSPD)が研究されている。導波路結合型SSPDは,導波路上に配置された超伝導ナノワイヤにより導波路中を伝搬する光子を検出する。我々は今回,高性能な導波路結合型SSPDの実現に向けて,従来型SSPDの作製プロセスに倣い,はじめにSilicon-on-Insulator基板上に窒化ニオブチタンを成膜する作製プロセスに改良し,作製した素子の超伝導特性及び光子応答性の評価を行った。(著者抄録)

シソーラス用語： 超小形回路技術 ,  *量子光学 ,  *半導体集積回路 ,  光導波路 ,  *光検出器 ,  超伝導 ,  ナノワイヤ ,  *超伝導単一光子検出器
準シソーラス用語： オンチップ ,  *モノリシック集積回路 ,  超伝導特性

分類 (2件)： 超伝導材料  (BM04041W) ,  その他の超伝導応用装置  (BM04044V)

タイトルに関連する用語 (4件)： オンチップ ,  量子光学 ,  導波路 ,  作製