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J-GLOBAL ID：201602213127220140   整理番号：16A0187332

ゲルマニウム湿潤層で支援した超平坦銀薄膜の堆積と特性化

Deposition and characterizations of ultrasmooth silver thin films assisted with a germanium wetting layer

著者 (12件)： ZHANG Junce (Univ. California at Santa Cruz, CA) ,  ZHANG Junce (NASA, CA) ,  FRYAUF David M. (Univ. California at Santa Cruz, CA) ,  FRYAUF David M. (NASA, CA) ,  DIAZ LEON Juan J. (Univ. California at Santa Cruz, CA) ,  DIAZ LEON Juan J. (NASA, CA) ,  GARRETT Matthew (Univ. California at Santa Cruz, CA) ,  GARRETT Matthew (NASA, CA) ,  LOGEESWARAN VJ (Univ. California at Davis, CA) ,  ISLAM Saif M. (Univ. California at Davis, CA) ,  KOBAYASHI Nobuhiko P. (Univ. California at Santa Cruz, CA) ,  KOBAYASHI Nobuhiko P. (NASA, CA)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 9553  ページ： 955314.1-955314.8  発行年： 2015年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ゲルマニウム湿潤層を持つSiO₂基板上に銀薄膜を電子ビーム蒸着した。Ge層厚を変えて得られた銀薄膜の構造特性を断面透過型電子顕微鏡(XTEM),FTIR分光法,X線回折,X線反射により調べた。1~5nmのGe湿潤層上に堆積させた銀薄膜の結晶粒度はGe層が無い場合に比べて約半分改善した。Ge湿潤層により銀薄膜の表面粗さが有意に低下したが,Ge湿潤層が厚くなると銀薄膜の表面粗さが増した。得られた銀薄膜は分子アンカー,光メタ材料,プラズモン素子,ナノフォトニクスの幾つかの領域などへの応用が期待される。

シソーラス用語： *銀 ,  ゲルマニウム ,  二酸化ケイ素 ,  湿潤 ,  平坦性 ,  *電子ビーム蒸着 ,  薄膜成長 ,  *表面粗さ
準シソーラス用語： 湿潤層 ,  *銀薄膜 ,  超平坦性

分類 (1件)： 金属薄膜  (BK14030T)

タイトルに関連する用語 (7件)： ゲルマニウム ,  湿潤層 ,  支援 ,  平坦 ,  銀薄膜 ,  堆積 ,  特性化