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J-GLOBAL ID：201602213729477943   整理番号：16A0930977

多結晶Ga添加ZnO透明導電膜の表面吸着子に与える酸素負イオン照射の効果

著者 (14件)： 野本淳一 (高知工科大 総研) ,  牧野久雄 (高知工科大 総研) ,  牧野久雄 (高知工科大 システム工) ,  北見尚久 (高知工科大 総研) ,  北見尚久 (住友重機械工業) ,  酒見俊之 (住友重機械工業) ,  小畠雅明 (原子力機構 廃炉国際共同研究セ) ,  岡根哲夫 (原子力機構 物質科学研究セ) ,  藤森伸一 (原子力機構 物質科学研究セ) ,  山上浩志 (原子力機構 物質科学研究セ) ,  山上浩志 (京都産大) ,  小林啓介 (高知工科大 総研) ,  小林啓介 (原子力機構 物質科学研究セ) ,  山本哲也 (高知工科大 総研)
資料名： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 77th  ページ： ROMBUNNO.15a-A22-2  発行年： 2016年09月01日 
JST資料番号： Y0055B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *透明導電膜 ,  *酸化亜鉛 ,  多結晶 ,  ガリウム ,  ドーピング ,  添加物効果 ,  吸着 ,  吸着平衡 ,  表面反応 ,  アニオン ,  イオン照射 ,  酸素 ,  プラズマCVD ,  表面吸着
準シソーラス用語： 負イオン

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (7件)： 多結晶 ,  Ga ,  ZnO ,  透明導電膜 ,  表面吸着 ,  酸素 ,  負イオン