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J-GLOBAL ID：201602214245724397   整理番号：16A0229203

マイクロスイッチ中の物質,環境,汚染物質の間の相互作用

Interactions between Materials, Environment and Contaminant in Microswitches

著者 (3件)： DE BOER Maarten P. (Carnegie Mellon Univ., Pittsburgh, USA) ,  BRAND Vitali (Carnegie Mellon Univ., Pittsburgh, USA) ,  BRAND Vitali (Lam Res. Corp, CA)
資料名： Proceedings of the IEEE Holm Conference on Electrical Contacts  (Proceedings of the IEEE Holm Conference on Electrical Contacts)
巻： 61st  ページ： 273-279  発行年： 2015年 
JST資料番号： E0462C  ISSN： 1062-6808  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： マイクロ及びナノスイッチは高温での高速(ns~μs),低電力動作(aJ~nJ/サイクル)を可能にする。しかし,小さな接触面積(10^-4~10²μm²)と小さな力(nN~μN)故に汚染物質に敏感である。本研究では,マイクロスイッチを特性化するために,制御した環境条件下でマイクロスイッチ中の炭素質トライボポリマ(TP)の形成を調べた。Pt又はRuO₂で被覆されたスイッチを真空焼入により清浄にした。次に,濃度を制御した0.02~2500ppmのベンゼン汚染物質を導入し,TPビルドアップに対する耐性を調べた。スイッチを反復して切替え通電すると,TPがビルドアップした。TPのビルドアップは窒素:酸素環境中よりも窒素中で急速であった。TPはより伝導性の形に変換できると思われる。

シソーラス用語： *マイクロスイッチ ,  高分子 ,  *スイッチング ,  白金 ,  酸化ルテニウム ,  焼入 ,  電気抵抗率 ,  *汚染物質 ,  接続品質 ,  芳香族炭化水素
準シソーラス用語： *MEMSスイッチ ,  スイッチング性能 ,  トライボポリマ ,  二酸化ルテニウム

分類 (1件)： 継電器・スイッチ  (NA05060K)

物質索引 (1件)： ベンゼン

タイトルに関連する用語 (5件)： マイクロスイッチ ,  物質 ,  環境 ,  汚染物質 ,  相互作用