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J-GLOBAL ID：201602214406327210   整理番号：16A0114686

テストハンドラにおける高精度ビジョンアライメント機能の開発

Development of high accuracy vision alignment function for the test handler

著者 (3件)： 小野澤正貴 (アドバンテスト) ,  加藤康之 (アドバンテスト) ,  菊池有朋 (アドバンテスト)
資料名： Probo  (Probo)
号： 45  ページ： 31-35  発行年： 2015年12月14日 
JST資料番号： L1550A  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 近年,スマートフォン等の小型化に伴い,デバイス端子のファインピッチ化が進んでいる。それに対し,後工程試験において従来のデバイス外形を基準としたメカアライメント方式ではアライメント精度に限界があるため,コンタクト不良による歩留り低下につながる。そこで,多数個測定に対応し,かつコンタクト精度を飛躍的に向上させるため,デバイス端子基準の高精度位置決めを行うビジョンアライメント方式のハンドラを開発した。(著者抄録)

シソーラス用語： *半導体チップ ,  精度 ,  *位置決め ,  *アラインメント ,  *試験装置
準シソーラス用語： *ビジョンアライメント ,  *位置決め精度

分類 (1件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

タイトルに関連する用語 (5件)： テスト ,  ハンドラ ,  ビジョン ,  アライメント ,  開発