文献

J-GLOBAL ID：201602214521509853   整理番号：16A0010819

ナノダストプラズマ内の時間分解粒子成長を決定するための動的Mie偏光解析法

Kinetic Mie ellipsometry to determine the time-resolved particle growth in nanodusty plasmas

著者 (4件)： GROTH Sebastian (Christian-Albrechts-Univ. zu Kiel, Kiel, DEU) ,  GREINER Franko (Christian-Albrechts-Univ. zu Kiel, Kiel, DEU) ,  TADSEN Benjamin (Christian-Albrechts-Univ. zu Kiel, Kiel, DEU) ,  PIEL Alexander (Christian-Albrechts-Univ. zu Kiel, Kiel, DEU)
資料名： Journal of Physics. D. Applied Physics  (Journal of Physics. D. Applied Physics)
巻： 48  号： 46  ページ： 465203,1-9  発行年： 2015年11月25日 
JST資料番号： B0092B  ISSN： 0022-3727  CODEN： JPAPBE  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Mie散乱光の偏光解析を用いたナノダストプラズマ中の微粒子解析法は,太陽電池のプラズマ加工プロセス,核融合などの分野で注目されている観測技術である。本研究は,この測定法のデータ解析について焦点を当てた。プラズマ放電内の微粒子はいくつかの発生機構がある。1つは,スパッタリング過程を経て生じる”トップダウン”型,他の1つは,放電内部でシランやメタンなどの反応性ガスが混合成長することにより生じる”ボトムアップ”型である。本研究で調べたナノダストは,”ボトムアップ”型発生機構により生じる。実験では,反応性のアルゴンとアセチレンとの混合プラズマ内でのナノ粒子成長を,動的Mie偏光解析により調べた。この先進的な測定法により得られたデータの解析は複雑であり,標準的な解析法が確立されていない。粒径の時間発展を測定し,粒子の複素屈折率を含む光学的性質を導く方法を提案した。典型的な粒子成長プロセスに提案した方法を適用し,走査電子顕微鏡による観察結果と比較して,本方法の有効性を確認した。

シソーラス用語： *微粒子プラズマ ,  計測 ,  *成長 ,  *Mie散乱 ,  *偏光解析法 ,  *データ解析 ,  放電 ,  複素屈折率 ,  走査電子顕微鏡 ,  ナノ粒子 ,  光吸収 ,  光散乱
準シソーラス用語： ダストプラズマ ,  時間分解法 ,  *粒子成長 ,  プラズマ放電

分類 (2件)： 光学スペクトル及び光散乱一般  (BM08050S) ,  光物性一般  (BM08010A)

タイトルに関連する用語 (4件)： ダストプラズマ ,  分解 ,  粒子成長 ,  偏光解析法