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J-GLOBAL ID：201602214747617453   整理番号：16A1147715

非鉛強誘電体厚膜の集束プロトンビームによる直接パターニングに関する研究

著者 (3件)： 山口正樹 (芝浦工大 工) ,  西川宏之 (芝浦工大 工) ,  小池義和 (芝浦工大 工)
資料名： 芝浦工業大学特別教育・研究報告集(CD-ROM)
巻： 2015  ページ： 157-160  発行年： 2016年09月30日 
JST資料番号： L8168B  ISSN： 2185-7326  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (7件)： 非鉛 ,  強誘電体 ,  厚膜 ,  集束 ,  プロトンビーム ,  パターニング ,  研究