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J-GLOBAL ID：201602215515278765   整理番号：16A0109785

220GHz進行波管のためのUV-LIGAを用いた折畳み導波路の微細加工【Powered by NICT】

Microfabrication of folded waveguide using UV-LIGA for 220 GHz traveling wave tube

著者 (6件)： Ma Tianjun (Inst. of Electronics, Chinese Acad. of Sciences, Beijing) ,  Sun Jianhai (Inst. of Electronics, Chinese Acad. of Sciences, Beijing) ,  Hao Baoliang (Inst. of Electronics, Chinese Acad. of Sciences, Beijing) ,  Li Fei (Inst. of Electronics, Chinese Acad. of Sciences, Beijing) ,  Yi Futing (Inst. of High Energy Physics, Chinese Acad. of Sciences, Beijing) ,  Liu Pukun (Inst. of Applied Electronics, Peking Univ., Beijing)
資料名： Qiangjiguang yu Lizishu  (Qiangjiguang yu Lizishu)
巻： 27  号： 2  ページ： 024101-1-024101-5  発行年： 2015年 
JST資料番号： C2482A  ISSN： 1001-4322  CODEN： QYLIEL  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 進行波管の主要成分として折返し導波路遅波構造は真空電子デバイス動作周波数THzへと上がると小さくなってきている。作製許容誤差によっては,ますます重要になってきている。伝統的方法は,これらのマイクロスケール範囲に適応していない。UV-LIGAはこの構造を作製するための魅力的な技術である。本論文では,220GHzでこの回路を作成するためにSU8フォトレジストを用いた微細加工技術とビームトンネルの厚さと形状を保証するためのPDMSと埋込み高分子モノフィラメントによって作製した特殊な鋳型に焦点を当てた。プロセスパラメータを最適化する,重力堆積法を用いて,同時厚さと滑らかな表面をもつSU8金型を実現した。硫酸と硫酸銅で構成された浴中の電鋳と高分子モノフィラメントを引き出す後,ミクロ組織を作製した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： *微細加工 ,  硫酸 ,  公差 ,  ポリジメチルシロキサン ,  硫酸銅 ,  電鋳 ,  プロセスパラメータ ,  フォトレジスト ,  *導波路 ,  金型 ,  高分子 ,  *進行波管 ,  最適化
準シソーラス用語： 微細加工技術 ,  遅波構造 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (4件)： 発振回路  (NC05020Y) ,  電子管,放電管  (NC02020D) ,  導波管,同軸線路  (NC04040N) ,  光導波路,光ファイバ,繊維光学  (BD06030H)

タイトルに関連する用語 (5件)： 進行波管 ,  LIGA ,  折畳み ,  導波路 ,  微細加工