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J-GLOBAL ID：201602215692908787   整理番号：16A0191528

積層シリコンダイスを用いたZr基バルク金属ガラスのマイクロ部品のホットエンボス加工

Hot Embossing of Zr-Based Bulk Metallic Glass Micropart Using Stacked Silicon Dies

著者 (6件)： ZHU Zhijing (Huazhong Univ. Sci. and Technol., Wuhan, CHN) ,  YI Chuanyun (Huazhong Univ. Sci. and Technol., Wuhan, CHN) ,  SHI Tielin (Huazhong Univ. Sci. and Technol., Wuhan, CHN) ,  ZHANG Yichun (Huazhong Univ. Sci. and Technol., Wuhan, CHN) ,  GAO Yang (Jiangxi Province Key Lab. of Numerical Control Technol. and Application, Jiujiang, CHN) ,  LIAO Guanglan (Huazhong Univ. Sci. and Technol., Wuhan, CHN)
資料名： Advances in Materials Science and Engineering (Web)  (Advances in Materials Science and Engineering (Web))
巻： 2015  ページ： 179714 (WEB ONLY)  発行年： 2015年 
JST資料番号： U7020A  ISSN： 1687-8434  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 著者らは,積層シリコンダイスを用いたZr₆₅Cu_17.5Ni₁₀Al_7・5バルク金属ガラスのホットエンボス加工を実証した。有限要素シミュレーションを実施して,変動荷重(100Nで60秒その後400Nで60秒)モードを利用した時とおよび一定荷重モード(200Nで120秒)を利用した時と比較すると,変動荷重がシリコンダイスにおいて400MPa以下に応力を低下でき,脆いシリコンダイスの耐久性を向上できる事を示した。良い外観のマイクロ部品を変動荷重で製造したが,シリコンダイスに破壊は見られず,シミュレーションと一致した。マイクロ部品が非晶質である事を示差走査熱量測定およびX線回折で確認した。また,ナノ硬さとヤング率が,ナノインデンター試験によって測定した鋳造ままのBMGロッドの値に近い事が実証された。ホットエンボス加工によって3次元のZr基バルク金属ガラスのマイクロ部品の製造に変動荷重モードを適用する実現可能性が高いという結果を得た。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *バルク金属ガラス ,  ジルコニウム合金 ,  銅含有合金 ,  ニッケル含有合金 ,  アルミニウム含有合金 ,  *微細加工 ,  *エンボス加工 ,  *プレス用ダイス ,  ケイ素 ,  積層構造 ,  *計算機シミュレーション ,  *成形性 ,  静荷重 ,  *変動荷重 ,  工具寿命
準シソーラス用語： *ホットエンボス加工 ,  マイクロ部品 ,  検証試験 ,  超塑性加工 ,  変形モード ,  *有限要素シミュレーション

分類 (1件)： 機械的性質  (WB02030U)

タイトルに関連する用語 (6件)： シリコン ,  ダイス ,  Zr ,  バルク金属ガラス ,  マイクロ部品 ,  ホットエンボス加工