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J-GLOBAL ID:201602215915549814   整理番号:16A0038294

高定義計測を用いた多孔表面の3次元トポグラフィー解析【Powered by NICT】

Three Dimensional Topography Analysis of Multi-Hole Surface Using High Definition Metrology
著者 (5件):
資料名:
巻: 49  号:ページ: 1339-1345,1352  発行年: 2015年 
JST資料番号: W1060A  ISSN: 1006-2467  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 中国 (CHN)  言語: 中国語 (ZH)
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双直交ウェーブレット変換に基づくフィルタ法は高精細計測データ,多孔表面の表面三次元形状誤差とうねりを分離できるを分析するために提案した。提案した方法の有効性はシミュレートされた連続表面と多孔表面に基づくGaussフィルタリングとの比較により実証した。参照として連続表面から得られた結果から,多孔表面から得られた三次元波形パラメータSWaとSWtの偏差は,Gaussフィルタリングのための153.7%と58.3%であり,双直交ウェーブレット変換のための0.50%と9.69%であった。さらに,提案した方法は,機関シリンダの上面,境界歪みのない多孔表面のための三次元地形の評価結果が正確であることを示した三次元トポグラフィー解析に適用した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【Powered by NICT】
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