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J-GLOBAL ID：201602216229661337   整理番号：16A0235286

超高精度平面形状計測技術と平面ガラス基板の開発

著者 (1件)： 尾藤洋一 (産業技術総合研)
資料名： 計測標準と計量管理  (Measurement Standards and Metrology Management)
巻： 65  号： 4  ページ： 67-72  発行年： 2016年02月20日 
JST資料番号： F0771A  ISSN： 1880-1420  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 高精度平面が物づくりに必要となり,将来的にはサブナノメートルレベルの標準不確かさで平面度を測定できる技術,サイズアップが求められる。本稿で,フィゾー干渉計を用いた高精度の平面測定法,高精度化等の計測技術の開発状況と超高精度平面ガラス基板の製作の報告をした。フィゾー干渉計の測定原理・三面合わせ法,角度測定を用いた表面測定やNMIJ開発の傾斜角計測等の説明をし,ガラス基板の製作では,開発した超高精度平面形状計測装置を用いて,光学部品メーカーのテクニカル社と共同開発を行った成果等を示した。

シソーラス用語： 技術 ,  *基板 ,  精度 ,  *平坦性 ,  *不確実性 ,  干渉計 ,  原理 ,  角度測定 ,  形状測定 ,  事例研究
準シソーラス用語： 平面形状 ,  *計測技術 ,  超高精度 ,  サブナノメートル ,  Fizeau干渉計 ,  測定原理 ,  三面合わせ法 ,  表面形状測定 ,  平面ガラス基板 ,  傾斜角計測

分類 (2件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  固体デバイス材料  (NC03020K)

引用文献 (9件)：

• ITRS 2009 : International Technology Roadmap for Semiconductors 2009 Edition
• BIPM : Calibration and Measurement Capabilities of National Metrology Institutes, http://kcdb.bipm.org/AppendixC/country_list.asp
• 高辻利之、尾藤洋一、大澤尊光、古谷涼秋、”三枚合わせ法により平面度絶対校正アルゴリズム、”精密工学会誌、72(11)1368-1373,2006.
• Takatsuji T, Osawa S, Kuriyama Y and Kurosawa T 2003 Stability of the reference flat used in Fizeau interferometer and its contribution to measurement uncertainty Proc. SPIE 5190 431-439
• Frank Siewert, Jana Buchheim, Thomas Zeschke, ” Characterization and calibration of 2nd generation slope measuring profiler, ” Nucl. Instr. And Meth. A, 616 119-127, 2010.

タイトルに関連する用語 (4件)： 平面形状 ,  計測技術 ,  ガラス基板 ,  開発