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J-GLOBAL ID：201602216287775253   整理番号：16A0019694

三次元微細造形のための垂直方向の流れを利用したフローリソグラフィー

著者 (6件)： 幅崎昌平 (東大) ,  吉田昭太郎 (東大) ,  LEE Won Chul (東大) ,  LEE Won Chul (竹内バイオ融合プロジェクト) ,  竹内昌治 (東大) ,  竹内昌治 (竹内バイオ融合プロジェクト)
資料名： 日本機械学会マイクロ・ナノ工学シンポジウム講演論文集
巻： 5th  ページ： 177-178  発行年： 2013年11月04日 
JST資料番号： L8358A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： 微細加工 ,  微細構造 ,  *リソグラフィー ,  マイクロチャネル ,  *光重合型樹脂 ,  構造体 ,  異方性 ,  材料 ,  光ファイバ ,  紫外線吸収剤 ,  マイクロ構造体 ,  異方性材料 ,  微細加工技術 ,  露光時間
準シソーラス用語： オプチカルファイバ ,  光硬化性樹脂 ,  *三次元構造

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： 微細 ,  造形 ,  垂直方向 ,  流れ ,  フロー ,  リソグラフィー