文献

J-GLOBAL ID：201602216750017304   整理番号：16A0193211

TimeShift^TM能力を有する高出力高繰り返し速度のグリーンレーザを使用したシリコンアブレーション加工効率の二倍化および品質改良

Doubling Silicon Ablation Process Efficiency and Improving Quality Using High Power High Repetition Rate Green Laser with TimeShift Capability

著者 (3件)： PATEL Rajesh (Spectra Physics, CA, USA) ,  BOVATSEK James (Spectra Physics, CA, USA) ,  GOY Hang-Ru (Hewlett Packard, Singapore, SGP)
資料名： Journal of Laser Micro/Nanoengineering (Web)  (Journal of Laser Micro/Nanoengineering (Web))
巻： 10  号： 2  ページ： 134-139 (WEB ONLY)  発行年： 2015年05月 
JST資料番号： U0377A  ISSN： 1880-0688  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： インクジェットプリンタヘッドにおいて,シリコンバリア板がオリフィス板とインク容器の間に存在する。現在利用可能なグリーンダイオード光励起固体(DPSS)レーザは,このシリコンバリア板を形成するためにシリコンに溝を形成する上で有効な手段である。本研究では,新しい世代のSpectra Physicsによって開発されたTimeShift^TM能力を有する高出力,高繰り返し速度のグリーンQuasar^Rハイブリッドファイバレーザを使用してシリコンアブレーション効率を向上させる。そのパワー,繰り返し速度,パルス幅,バーストのパルス数,およびバースト内のサブパルス間のパルス分離時間を最適化することで,材料除去効率を二倍にすることができる。またアブレーションされた溝の特徴が驚異的に改良されることを実証する。シリコンアブレーションに対して供給できるパルス出力の完全な時間制御と連動した高出力および高繰り返し速度の大きな恩恵を示す細心なまた総合的な研究の実験結果を発表する。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 変化 ,  出力 ,  速度 ,  *可視レーザ ,  *レーザアブレーション ,  効率 ,  ジェットプリンタ ,  *ケイ素 ,  *板 ,  容器 ,  溝 ,  ファイバレーザ ,  パルス幅 ,  数 ,  パルス ,  高出力レーザ ,  印字ヘッド ,  レーザ励起 ,  半導体レーザ ,  *レーザ加工
準シソーラス用語： インクジェットプリンタ ,  オリフィス板 ,  *グリーンレーザー ,  パルス数 ,  加工効率 ,  繰返し速度 ,  時間シフト ,  除去効率 ,  プリントヘッド

分類 (3件)： 印刷機  (ZA05050L) ,  特殊加工  (QC04000Y) ,  レーザの応用  (BD04100V)

引用文献 (3件)：

• Ink Jet/Laser Computer Printer Sales Statistics, Statistic Brain, March 2, 2014, http://www.statisticbrain.com/ink-jet-laser-computerprinter- sales-statistics/
• Jae-Duk Lee, Jun-Bo Yoon, Jae-Kwan Kim, Hoon-Ju Chung, Choon-Sup Lee, Hi-Deok Lee, Ho-Jun Lee, Choong-Ki Kim, Chul-Hi Han: “A Thermal Inkjet Printhead with a Monolithically Fabricated Nozzle Plate and Self-aligned Ink Feed Hole” J. of Microelectromechanical Systems, Vol. 8, No. 3, Sept. 1999, pg. 229-236.
• A.C. Forsman, P.S. Banks, M.D. Perry, E.M. Campbell, A.L. Dodell, and M.S. Armas: “Double-pulse machining as a technique for the enhancement of material removal rates in laser machining of metals” J. of Applied Physics, 98, 2005.

タイトルに関連する用語 (9件)： 能力 ,  高出力 ,  繰り返し速度 ,  グリーン ,  レーザ ,  シリコン ,  アブレーション ,  加工効率 ,  品質改良