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J-GLOBAL ID:201602217012715010   整理番号:16A0096417

ダイヤモンド被覆Love波型表面音波センサのシミュレーション,製作及び特性評価

Simulations, fabrication, and characterization of diamond-coated Love wave-type surface acoustic wave sensors
著者 (10件):
資料名:
巻: 212  号: 11  ページ: 2606-2610  発行年: 2015年11月 
JST資料番号: D0774A  ISSN: 1862-6300  CODEN: PSSABA  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: ドイツ (DEU)  言語: 英語 (EN)
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ダイヤモンドは,その化学安定性及び生体適合性及び様々な共有結合方式の最近の開発から,バイオセンシング応用に魅力的な材料である。音響センサは,電気機械的な共鳴周波数の変化をモニタすることによって微小な質量変化を検出する非常高感度の能力がある。水晶微量天秤(QCM)センサは液体中で操作できる最も簡単なセンサであるが,Love波センサは,それと比較して,更に敏感な音響検出器である。この研究において,バイオセンシング応用のための低温度のダイヤモンド被覆AT水晶基板上のLove波型表面音波(SAW)デバイスの理論的及び実験的研究を提示する。Copyright 2016 Wiley Publishing Japan K.K. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.
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分類 (4件):
分類
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固体の音波物性一般  ,  半導体薄膜  ,  炭素とその化合物  ,  分析機器 

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