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J-GLOBAL ID：201602217063322705   整理番号：16A0251894

小孔付き半密閉空間を有する光導波型微小圧力センサにおける応答特性の基礎的検討

著者 (3件)： 川村義晃 (新潟大 大学院自然科学研究科) ,  大河正志 (新潟大 工) ,  佐藤孝 (新潟大 工)
資料名： センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム(CD-ROM)  (センサ・マイクロマシンと応用システムシンポジウム論文集(CD-ROM))
巻： 32nd  ページ： ROMBUNNO.30AM2-PS-056  発行年： 2015年10月21日 
JST資料番号： X0768B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *光集積回路 ,  光導波路 ,  *圧力センサ ,  ダイヤフラム ,  光弾性 ,  応答特性 ,  *基礎研究
準シソーラス用語： *基礎検討

分類 (2件)： 計測機器一般  (AD02000X) ,  光集積回路,集積光学  (BD06050D)

タイトルに関連する用語 (7件)： 小孔 ,  密閉空間 ,  導波 ,  微小 ,  圧力センサ ,  応答特性 ,  基礎的検討