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J-GLOBAL ID:201602217203834515   整理番号:16A0177130

高コントラスト格子性能に対する非理想形状の影響

Impact of Non-Ideal Shapes on High-Contrast Grating Performance
著者 (4件):
資料名:
巻: 667  ページ: 137-139  発行年: 2015年 
JST資料番号: B0665A  ISSN: 0537-9989  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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本稿では,誘電体高コントラスト格子(HCG)の反射特性に対する非理想組み立ての影響を論じた。格子の性能を,平面波散乱問題を考慮して定量化した。これをモルタル要素法に基づく新しい全波シミュレータ法により解いた。このスキームのフレキシビリティを用いたHCGの現実的なモデルを得た。非理想形状により影響を受ける部分は高屈折率領域であることを示した。素子の形状パラメータに対する感受性の評価により,素子の期待性能を維持する妥当な範囲を決定した。
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分類 (1件):
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光デバイス一般 
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